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XCDAピューリファイア

CDA（Clean Dry Air）専用に設計されたガス精製器で、精製後のCDA純度を9Nに確保します。さらに、精製後のXCDA水分濃度は100PPT以下に安定的に制御され、海外メーカーに匹敵する半導体規格に適合したXCDAを実現します。

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